特許
J-GLOBAL ID：200903063950096354
磁気記録媒体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-012282
公開番号（公開出願番号）：特開平5-205263
出願日： 1992年01月27日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 垂直磁気記録に用いて好適なCoO系等の磁気記録媒体の製造方法において、連続蒸着の際に非磁性支持体が受ける熱的ダメージを抑制して、磁気記録媒体の電磁変換特性の劣化を回避すると共に、蒸着レートを改善して生産性の向上をはかる。【構成】 非磁性支持体2上に、金属磁性薄膜を連続蒸着により被着形成するに際し、酸化性ガスを矢印aで示すように導入して、この酸化性ガスを供給する酸化性ガス導入管9を-20°C以下に冷却し、非磁性支持体2を支持する冷却キャン5を-20°C以下に冷却する。
請求項（抜粋）：
非磁性支持体上に、金属磁性薄膜を連続蒸着により被着形成するに際し、酸化性ガスが導入され、該酸化性ガスを供給する酸化性ガス導入管が-20°C以下に冷却され、上記非磁性支持体を支持する冷却キャンが-20°C以下に冷却されることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (4件)：
G11B 5/85
, C23C 14/24
, C23C 14/56
, H01F 41/20
