特許
J-GLOBAL ID：200903063951815893
炭化珪素発熱体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高畑 正也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-271181
公開番号（公開出願番号）：特開平6-092733
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 簡便なプロセスにより材質強度を損なわずに多量の窒素固溶量を確保することができ、低い比抵抗を備える炭化珪素発熱体を効率的に製造するための方法を提供する。【構成】 炭化珪素原料粉に、窒化珪素粉末1〜30重量%と前記窒化珪素粉末の5〜30重量%相当量の炭素粉末を混合し、バインダーとともに所定形状に成形したのち、窒素ガス雰囲気中で1900〜2400°Cの温度により焼結処理する。
請求項（抜粋）：
炭化珪素原料粉に、窒化物粉末1〜30重量%と前記窒化物粉末の5〜30重量%に相当する量の炭素質粉末を混合し、バインダーとともに所定形状に成形したのち、窒素ガス雰囲気中で1900〜2400°Cの温度により焼結処理することを特徴とする炭化珪素発熱体の製造方法。
IPC (2件)：
C04B 35/56 101
, H05B 3/14
