特許
J-GLOBAL ID：200903063951994755
磁気ディスクの光学的検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-302723
公開番号（公開出願番号）：特開平10-143801
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 検査時間を短縮すると共に分解能の高い光学的検査方法を提供する。【解決手段】 磁気ディスク面の垂直線に対して傾斜角を有する方向から光線を入射し、ディスクの面上方に散乱された光を結像して暗視野像を得ると共に、該暗視野像を受光素子を列設したラインセンサーで受光して散乱光強度を測定する磁気ディスクの光学的検査方法であって、入射する光線をディスク面の検査領域を走査せしめ、前記ラインセンサーの1または複数の素子が所定レベル以上の強度の信号を所定時間以上出力したときを欠陥部として検出する磁気ディスクの光学的検査方法。
請求項（抜粋）：
磁気ディスク面の垂直線に対して傾斜角を有する方向から光線を入射し、ディスクの面上方に散乱された光を結像して暗視野像を得ると共に、該暗視野像を受光素子を列設したラインセンサーで受光して散乱光強度を測定する磁気ディスクの光学的検査方法であって、入射する光線をディスク面の検査領域を走査せしめ、前記ラインセンサーの1または複数の素子が所定レベル以上の強度の信号を所定時間以上出力したときを欠陥部として検出することを特徴とする磁気ディスクの光学的検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B 5/00 D
, G11B 5/84 C
