特許
J-GLOBAL ID：200903063962675724
研磨工具皿
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-090915
公開番号（公開出願番号）：特開平10-286777
出願日： 1997年04月09日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】被加工面の非球面量の大小や変曲点の有無に関わらずポリシャを被加工面に円滑に沿わせることが可能な研磨工具皿を提供する。【解決手段】被加工面に対向する部分に互いに間隔をあけて配置され、被加工面に対して研磨工具皿が相対移動する際には、ポリシャで形成された頭部13aを被加工面に押し当てつつ、該被加工面の形状にならって自身を変位させる複数の可動子13を有する。
請求項（抜粋）：
工具軸の先端に設けられ、かつ、被加工面に対向する部分に複数の挿入孔が形成された工具皿本体と、前記複数の挿入孔に各々挿入され、挿入方向に予め定めた可動範囲を有する複数の可動子と、前記複数の可動子のそれぞれを前記工具皿本体から外に向かって押し出すような力を発生させる押し出し力発生源とを備えた研磨工具皿。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24D 7/00 Z
, B24B 13/00 A
