成膜装置用部品およびその再生方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八木田茂 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-101095
公開番号（公開出願番号）：特開平6-049626
出願日： 1992年04月21日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：

【要約】【構成】真空蒸着法、スパッタリング法、減圧または常圧での物理蒸着法、プラズマ化学蒸着法、化学蒸着法などの気体雰囲気成膜を実施する装置においてその成膜を行なう場所の付近に用いられる部品の表面に、この部品の構成材料より硬度の低いCu,Al,Sn,Inなどの材料からなる軟質膜が形成される。また、軟質膜を形成したのちに、その表面に凹凸が形成され、または部品が真空熱処理される。さらに、成膜の際に部品に付着した膜が、軟質膜の化学的エッチングによって、軟質膜と共に除去される。

請求項（抜粋）：

気体雰囲気成膜装置においてその成膜を行なう場所の付近に用いられる部品の表面に、この部品の構成材料より硬度の低い材料からなる軟質膜と称せられる膜を形成した、成膜装置用部品。

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭61-056277
特公昭63-066901
特開昭62-109971

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