特許
J-GLOBAL ID：200903063970906930
圧電素子の周波数微調方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-045148
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246862
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：
【要約】【課題】 水晶振動子や水晶発振子等の圧電素子の周波数を、レーザを照射して温度上昇そのものに起因する周波数変動や、温度上昇による熱歪に起因する周波数変動なしに精確に微調整する。【解決手段】 x-yテーブル2に載置した圧電素子基板1の周波数を周波数測定装置3で測定しながら、レーザ発振装置4で発生したパルス幅が1ピコ秒以下の超短パルスレーザ6をレーザヘッド5から基板1に照射して、基板1の表面層を原子オーダで除去することによって、その周波数を周波数測定装置3でモニタしながら周波数の微調整をする。
請求項（抜粋）：
圧電素子にその周波数を測定しながら超短パルスレーザを照射して、照射領域の表面層を原子オーダで除去することによって周波数を微調整することを特徴とする圧電素子の周波数微調方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 3/04 B
, H01L 41/22 Z
