特許

J-GLOBAL ID：200903063976259901

イメージセンサ用窓ガラス

発明者： 後藤 誠
出願人/特許権者： 東芝硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-096302
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271704
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】 ガラスからの放射線放出に起因する固体撮像素子のノイズ発生がなく、透過率特性に優れたイメージセンサ用窓ガラスを提供すること。【構成】 ガラス基板の表面に反射防止膜を被着したイメージセンサ用窓ガラスにおいて、ガラス基板と反射防止膜の双方に含まれる放射性同位元素の合量を100ppb以下とし、3層の反射防止膜のうち中間屈折率膜として酸化アルミニウムを使用し、これに酸化タンタルを含有させて屈折率を調整し高透過率を得られるようにした。

請求項（抜粋）：

ガラス基板の表面に反射防止膜を被着したイメージセンサ用窓ガラスにおいて、前記反射防止膜を構成する材質として、ガラス基板側から第1層が酸化アルミニウムに酸化タンタルを0.1〜10質量%含有した混合膜、第2層が酸化タンタル膜、第3層が弗化マグネシウム膜からなり、ガラス基板と反射防止膜の双方に含まれる放射性同位元素の合量が100ppb以下であることを特徴とするイメージセンサ用窓ガラス。