金属膜の除去加工方法及び光起電力素子の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：目次誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-160300
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031774
出願日： 1994年07月12日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】エネルギービーム照射による金属膜の除去加工において、除去部周辺の変形部分の変形の程度を低減する。【構成】金属膜2の被加工部に第1のレーザビーム4を照射して被加工部の領域に金属膜の変質領域2cを形成した後、この変質領域2cに第2のレーザビームを照射して除去部2bを形成する。

請求項（抜粋）：

エネルギービームを照射することにより金属膜の少なくとも一部を除去加工する方法であって、前記金属膜の被加工部に第1のエネルギービームを照射した後、前記第1のエネルギービームとは異なるエネルギー密度を有する第2のエネルギービームを照射することを特徴とする金属膜の除去加工方法。

IPC (3件)：

H01L 21/302 , H01L 31/04 , H05K 3/08

FI (2件)：

H01L 21/302 Z , H01L 31/04 S

引用特許：

審査官引用 (14件)

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