特許

J-GLOBAL ID：200903063982778465

光感知又は放射線感知センサからなる撮像装置及びその検査方法

発明者： 小林 功
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-122372
公開番号（公開出願番号）：特開2003-319270
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：

【要約】【課題】 撮像装置の検査時において、プローブが精度良くパッドに当たるようにすると共に、プローブがパッドに当たることにより生じたパッドの変形によりパッドと配線との電気的接合の信頼性が低下することを防止する。【解決手段】 撮像装置の駆動信号又は読出し信号の線に2つの別異のパッドを設け、一方のパッドはプローブを当てるために用い、他方のパッドを駆動回路又は読出し回路と接続するために用いる。

請求項（抜粋）：

二次元に配列した、照射の入射量に依存する電荷を発生する複数の光感知又は放射線感知センサを含む撮像手段を有する撮像装置の検査方法において、複数の引出し配線部を用いてTAB接続又はワイヤーボンディングにより外部回路と電気接続を行う光電変換基板又は放射線読み取り基板を用い、前記引出し配線部における電気接続用の位置と、前記基板の動作確認検査を複数の検査プローブを用いて行う、プローブ検査用の位置は別の位置であることを特徴とする光感知又は放射線感知センサを含む撮像装置の検査方法。

IPC (7件)：

H04N 5/335 ,  A61B 6/00 300 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 27/14 ,  H01L 27/146 ,  H04N 5/32 ,  H04N 17/00

FI (10件)：

H04N 5/335 Z ,  H04N 5/335 U ,  A61B 6/00 300 S ,  H01L 21/60 311 S ,  H04N 5/32 ,  H04N 17/00 K ,  H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 Z ,  H01L 27/14 C

Fターム (34件)：

4C093AA01 ,  4C093CA32 ,  4C093CA35 ,  4C093EB12 ,  4C093EB13 ,  4C093EB17 ,  4C093EB20 ,  4C093GA10 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118BA19 ,  4M118CA03 ,  4M118CA05 ,  4M118CB01 ,  4M118CB02 ,  4M118CB11 ,  4M118FB09 ,  4M118FB16 ,  4M118FB19 ,  4M118GA10 ,  4M118HA27 ,  4M118HA30 ,  4M118HA31 ,  4M118HA32 ,  5C024AX01 ,  5C024AX16 ,  5C024CY44 ,  5C024EX25 ,  5C061BB01 ,  5C061CC01 ,  5F044KK06 ,  5F044KK12 ,  5F044LL09