特許
J-GLOBAL ID：200903063984613129
薄膜蒸着用マイクロ波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-512314
公開番号（公開出願番号）：特表平8-509264
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】個別に離間して設けられた複数の蒸着領域(12)で、基板材料の延長ウエブ上に薄膜材料を同時プラズマ強化化学蒸着するための方法および装置。上記同時蒸着を達成するために、基板材料(10)のウエブは、減圧エンクロージャー(1)内を移動する蛇行経路を決めるようにして効果的に配置される。マイクロ波エネルギー源として延長線形アプリケーター(4)を用いることによって、ウエブ基板材料の複数の大きい領域にわたる薄膜材料の均一的蒸着が、その融点以上の温度でウエブを加熱することなしに、高い率で同時に達成できる。好ましい実施態様では、基板材料のウエブは低温、マイクロ波伝導合成プラスチック樹脂と、酸素の拡散を防ぐためのバリア被覆を形成する該樹脂上に蒸着された薄膜材料とから形成される。
請求項（抜粋）：
線形マイクロ波アプリケーターを用いて基板材料の延長ウエブ上に薄膜材料をプラズマ強化化学蒸着するための装置であって 前記排気可能な蒸着チェンバーと、 前記蒸着チェンバーを排気して減圧するための手段と、 第一プラズマ領域を限定する第一内部容量を含む蒸着面を囲む、蒸着チェンバー内に配置された基板材料の延長ウエブと、 前記第一容量へ蒸着ガスの前駆体混合物を導入するための手段と、 前記基板ウエブの非蒸着面に隣接して効果的に配置され、前駆体ガス混合物を活性種のプラズマへ分離し、かつ前記活性種を前記基板ウエブへ蒸着するために、第一容量へ源からマイクロ波エネルギーを実質的に導入するための、第一線形、非一過性アプリケーターと、 前記活性種が実質的に前記線形アプリケーター上へ蒸着するのを実質的に防ぐ、前記線形アプリケーターに関連した基板材料のウエブの配置によって実質的に限定された前記前駆体混合物とを組み合わせて有することを特徴とするプラズマ強化化学蒸着法のための装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
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特開平3-030420
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特開平2-011772
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特開昭61-288074
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