特許

J-GLOBAL ID：200903063987586467

真空装置用低温トラツプ

発明者： 森本 秀敏
出願人/特許権者： アルバツク・クライオ株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-202902
公開番号（公開出願番号）：特開平5-049805
出願日： 1991年08月13日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】 複数の低温トラップが1台の冷凍機で冷却可能で設備を小型安価となし得られ、真空装置に振動の伝達が少なく環境破壊のおそれのない真空装置用の低温トラップを提供すること。【構成】 真空室2やその排気通路1の水蒸気等を凝縮する低温部5を備えた低温トラップ5に於いて、小型ヘリウム冷凍機6で一端が冷却されたヒートパイプ8の他端に該低温部を接続してこれを冷却する。1台の小型ヘリウム冷凍機で複数本のヒートパイプの端部を冷却し、各ヒートパイプの他端部に夫々接続した低温トラップを同時に冷却する。【効果】 小型ヘリウム冷凍機の振動が低温トラップの低温部に伝達されにくくなり、真空装置の振動を減少でき、複数個の低温トラップを1台の小型ヘリウム冷凍機で冷却できるので、安価でしかも環境を損なわない安全な小型の低温トラップが得られ、液体窒素の補充が不要でランニングコストも安価になる。

請求項（抜粋）：

真空室やその排気通路の水蒸気等を凝縮する低温部を備えた低温トラップに於いて、小型ヘリウム冷凍機で一端が冷却されたヒートパイプの他端に該低温部を接続してこれを冷却することを特徴とする真空装置用低温トラップ。