特許

J-GLOBAL ID：200903063991351059

加速度センサ

発明者： 粟井 崇善
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-117178
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304762
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 フレームおよびストッパの線膨張係数の違いで発生してフレームに加わり温度特性劣化の原因となる熱応力を低減する。【解決手段】 中央部123直下の重り部が複数のビーム112を介して接続されるフレーム11と、この上面に接合される上ストッパ12と、フレーム11の下面に接合される下ストッパとにより構成され、重り部、ビーム112およびフレーム11がシリコンにより形成される一方、上ストッパ12および下ストッパがガラスにより形成される加速度センサに対して、上ストッパ12を、この四隅から下方に伸びる支持部121の先端でフレーム11の上面に接合した。

請求項（抜粋）：

重り部がビームを介して接続されるフレームと、前記フレームの一の面上に接合される第1のストッパと、前記フレームの他の面上に接合される第2のストッパとを備え、前記第1および第2のストッパの一方は四隅から伸びる支持部の先端で前記フレームの面上に接合する加速度センサ。