特許
J-GLOBAL ID：200903063994404200
IC評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-250367
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077236
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 テストボードの同期が確実に取れるようにし、エラー発見ミスが無くせるようにする。【構成】 チャンバー1内に評価用のICを実装したテストボード2-1〜2-8を設置し、チャンバー1内を高温又は低温雰囲気にして前記ICの評価を行うIC評価装置であって、テストボード2-1〜2-8の各々に接続されるVME6を設けると共に、このVME6にテストボード2-1〜2-8の各々に対応して接続されているドライバ4-1〜4-8の各々にパターンジェネレータ5-1〜5-8の各々を接続し、テストボード間の同期が高速に行えるようにする。
請求項（抜粋）：
チャンバー内に評価用のICを実装した複数のテストボードを設置し、前記チャンバー内を高温又は低温雰囲気にして前記ICの評価を行うIC評価装置において、VMEと、前記テストボードへ出力信号を供与する複数のパターンジェネレータとを設け、このパターンジェネレータを介して前記VMEを接続することを特徴とするIC評価装置。
IPC (4件)：
H01L 21/326
, G01R 31/26
, H01L 21/66
, H01L 27/00
