アライメント装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横沢志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-134010
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323811
出願日： 1993年05月12日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 CCDカメラ、画像処理装置等を用いることなく、廉価な構成で精度よく、しかも迅速な位置合わせを行うことのできるアライメント装置を実現すること。【構成】アライメント装置10は、3個のPSDセンサ21、22、23と、これらの出力に基づき、テーブル11のX軸アクチュエータ13、Y軸アクチュエータ14および回転アクチュエータ15の駆動制御を行う制御装置31を有している。第1および第2のPSDセンサ出力に基づき、液晶表示板12を乗せたテーブル11を回転する。次に、第2および第3のPSDセンサ出力に基づきテーブル11をY軸方向に移動する。最後に、第1のPSDセンサ出力に基づきテーブル11をX軸方向に移動して、液晶表示板12の位置合わせを行う。

請求項（抜粋）：

位置合わせ対象のワークが載置されるテーブルと、このテーブルをX軸方向に移動させるX軸移動手段と、前記テーブルをY軸方向に移動させるY軸移動手段と、前記テーブルをXY平面上で回転させる回転手段と、XY平面上の異なる位置に固定配置した第1、第2および第3の半導体位置検出手段と、これらの半導体位置検出手段の出力に基づき、前記X軸移動手段、Y軸移動手段および回転手段を駆動制御する駆動制御手段とを有し、前記半導体位置検出手段のそれぞれは、平行光の光源と、この平行光を受ける半導体位置検出器と、これらの間の平行光の光路を遮る状態に配置されたスリット部分とを備え、前記ワークの側には、前記の各半導体位置検出手段の平行光の光路上に配置可能な第1、第2および第3のスリット部分あるいはスリット状反射部分が形成されており、前記半導体位置検出手段の側の各スリット部分と、これらに対応する前記第1、第2および第3のスリット部分あるいはスリット状反射部分の交差位置によって規定される平行光の通過位置は、ワークの移動に応じて変化するようになっていることを特徴とするアライメント装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 , G03F 9/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-084134
特開昭62-157508
特開昭63-084134

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