特許
J-GLOBAL ID：200903063999759499
研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-212042
公開番号（公開出願番号）：特開2001-038610
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：
【要約】【課題】 ワークに吹き付けられる剥離用の流体に起因したワーク表面の汚れを防止して、高品質の研磨加工を行い得るようにすることにある。【解決手段】 研磨装置は複数枚の磁気ディスク用基板をワークとしてこれの両面を下定盤の研磨パッドと上定盤24の研磨パッド25により同時に研磨加工する。ワークは複数のキャリアの保持孔に保持され、キャリアは太陽歯車と内歯歯車とに噛み合い、下定盤の研磨パッドの上に配置される。上定盤駆動軸23には上定盤24に形成された流体噴出孔36に連通する流体案内孔37a,37bが形成され、流体案内孔37a,37bに連通する流路が形成された流体供給リング41が上定盤駆動軸23に固定されている。支持スリーブ22には流体供給リング41を介して流体案内孔37a,37bに連通する連通溝が形成されたピストン48が設けられ、ワークの研磨加工を終了する際には、流体供給リング41にピストン48を接触させる。
請求項（抜粋）：
ワークを保持する複数の保持孔が形成された複数のキャリアに噛み合う太陽歯車と、前記太陽歯車の外方に配置されてそれぞれの前記キャリアに噛み合う内歯歯車と、前記ワークの下面に接触する下側研磨具を備えた下定盤と、前記ワークの上面に接触する上側研磨具を備えた上定盤とを有する研磨装置であって、前記ワークに流体を噴出するための流体噴出孔を有する前記上定盤と、前記流体噴出孔に連接され、前記上定盤の回転とともに回転する流体供給部材と、流体供給源に接続され、前記流体供給部材に連通して前記流体供給源からの流体を前記流体噴出孔に供給する連通部材とを有し、前記流体供給部材と前記連通部材とを接離自在に構成したことを特徴とする研磨装置。
Fターム (12件)：
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AB03
, 3C058AB04
, 3C058AB08
, 3C058AC04
, 3C058BB04
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058DA06
, 3C058DA09
, 3C058DA17
