特許

J-GLOBAL ID：200903063999908184

マッピングデータの解析方法

発明者： 照喜名 伸泰
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-361888
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191286
出願日： 2002年12月13日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】測定装置によらずに、マップ図を見ながら、分析者が解析したい領域を任意に指定して、特定部分のデータを解析することが可能なマッピングデータの解析方法を提供する。【解決手段】マトリックス状に複数の区画に分割された被分析試料表面の所定の領域を走査することにより得た各区画と信号強度についてのマッピングデータを解析するにあたって、各区画と信号強度の値からなるマップ図を、コンピュータの縦横計算用アプリケーションのマトリックスに対応させてディスプレイに表示させ、マップ図を観察しつつ、マップ図中の所定の区画からなる特定の領域を指定し、該特定の領域を構成する各区画について、縦横計算用アプリケーションの演算機能により演算を行わせる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

マトリックス状に複数の区画に分割された被分析試料表面の所定の領域を走査することにより得た各区画と信号強度についてのマッピングデータの解析方法であって、 前記区画と前記信号強度の値からなるマップ図を、コンピュータの縦横計算用アプリケーションのマトリックスに対応させてディスプレイに表示させ、 前記ディスプレイに表示されたマップ図を観察しつつ、マップ図中の所定の区画からなる特定の領域を指定し、 前記特定の領域を構成する各区画について、縦横計算用アプリケーションの演算機能により演算を行わせて各区画の濃度データを得ること を特徴とするマッピングデータの解析方法。

IPC (3件)：

G01N23/223 ,  G01N23/225 ,  G01N23/227

FI (3件)：

G01N23/223 ,  G01N23/225 ,  G01N23/227

Fターム (17件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA10 ,  2G001BA04 ,  2G001BA05 ,  2G001BA09 ,  2G001BA30 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001CA10 ,  2G001GA06 ,  2G001HA04 ,  2G001JA13 ,  2G001LA20 ,  2G001NA15 ,  2G001RA01 ,  2G001RA10