特許

J-GLOBAL ID：200903064000314149

荷電粒子線装置における荷電粒子源位置調整方法及びその装置

発明者： 加藤 留夫 ,  川本 裕資
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-061711
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236052
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 電気的変量を測定することで荷電粒子源の位置を調整する方法と、更に、その電気的変量を利用して荷電粒子源の位置を自動調整したり、モニタからの荷電粒子源位置設定指令及びモニタでの荷電粒子源からの荷電粒子線の放出像の観察を併用して半自動的に荷電粒子源の位置を調整する装置を実現する。【構成】 カソード10を通して流れるエミッション電流Ieが一定になるよう帰還回路20でグリッド電圧を制御する装置において、グリッド電圧を測定しながら、カソードの位置を変化させ、グリッド電圧が最小値を示した位置を調整位置とする。また、モニタからの位置設定指令ができ、モータで位置設定し、カソード10を搭載する位置可変ステージ23を設け、グリッド電圧の測定及びステージ位置設定ができる制御装置22を設け、グリッド電圧が最小値を示す位置にカソードを自動調整する。

請求項（抜粋）：

加速電圧が印加されたカソード(10)と、0V又は+電位に保たれたアノード(12)との間にグリッド(11)が配置される構造をもち、カソード(10)を通して流れるエミッション電流Ieが一定になるよう帰還回路(20)でグリッド電圧を制御する荷電粒子線装置の荷電粒子源において、グリッド電圧を測定しながら、カソード(10)の位置を変化させ、グリッド電圧が最小値を示した位置を調整位置とする、ことを特徴とする荷電粒子線装置における荷電粒子源位置調整方法。