特許
J-GLOBAL ID：200903064005693466
半導体圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
碓氷 裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266867
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120336
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 補助ケースを必要とせず、かつ圧力特性が変化しない半導体圧力センサを提供する。【構成】 圧力を感知し電気信号に変換する感圧チップ2を備えた圧力センサユニット7の導圧パイプ9をセンサユニット装着口12に着設し、図示しない水あるいは水溶液あるいは蒸気あるいは腐食性の気体あるいは非腐食性の気体を被測定媒体として、この被測定媒体の圧力を感圧チップ2に伝達する圧力伝達媒体15を有し、この圧力伝達媒体15を駐止するオイル溜め13を垂直に備え、このオイル溜め13に被測定媒体を導入する圧力導入口16を連結してなる半導体圧力センサ1において、ー体の部材に少なくともセンサユニット装着口12とオイル溜め13と圧力導入口16とを共通に設け、圧力伝達媒体15にフロロシリコーンオイルを用いる。
請求項（抜粋）：
圧力を感知し電気信号に変換する感圧チップを備えた圧力センサユニットの導圧パイプをセンサユニット装着口に着設し、水あるいは水溶液あるいは蒸気あるいは腐食性の気体あるいは非腐食性の気体を被測定媒体として該被測定媒体の圧力を前記感圧チップに伝達する圧力伝達媒体を有し、該圧力伝達媒体を駐止するオイル溜めを垂直に備え、該オイル溜めに前記被測定媒体を導入する圧力導入口を連結してなる半導体圧力センサにおいて、ー体の部材に少なくとも前記センサユニット装着口と前記オイル溜めと前記圧力導入口とを共通に設け、前記圧力伝達媒体にフロロシリコーンオイルを用いたことを特徴とする半導体圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, G01L 19/00
