特許

J-GLOBAL ID：200903064010249450

液晶ディスプレイ用基板の製造装置

発明者： 小林 勝 ,  小山 英司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 村山 光威
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191929
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021872
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 液晶ディスプレイ用基板の薬液処理後の液切りナイフによる液切り乾燥において、基板裏面の液切りにより除去した水滴が基板表面に再付着して薄膜が腐食,劣化するのを防止し、ディスプレイとしての信頼性を向上する。【解決手段】 乾燥室に、搬送される液晶ディスプレイ用基板9を介して上下に、ガスを吹き付けて液を除去する一対若しくは複数対の液切りナイフ6,7を配置し、かつ上段の液切りナイフ6は、下段の液切りナイフ7に対して液晶ディスプレイ用基板9の搬送方向14の下流側に位置をずらせて配置する。搬送される液晶ディスプレイ用基板が下段ナイフ7の作用領域13から外れても、基板上面は上段ナイフの作用領域12にあり、水滴の基板表面への再付着を防止する。

請求項（抜粋）：

液晶ディスプレイ用基板に対する液処理室と、液処理後に液切りナイフによる液切り乾燥を行う乾燥室とを備えた液晶ディスプレイ用基板の製造装置であって、前記乾燥室は、搬送される液晶ディスプレイ用基板を介して上下に、ガスを吹き付けて液を除去する一対若しくは複数対の液切りナイフが配置されており、かつ各対の上段の液切りナイフは、下段の液切りナイフよりも液晶ディスプレイ用基板の搬送方向下流側に位置していることを特徴とする液晶ディスプレイ用基板の製造装置。

IPC (2件)：

G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/13 101

FI (2件)：

G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/13 101

Fターム (13件)：

2H088FA17 ,  2H088FA21 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA08 ,  2H088MA04 ,  2H088MA16 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  2H090JD01 ,  2H090LA04