特許

J-GLOBAL ID：200903064010853641

研磨用キャリヤ

発明者： 日下部 正良 ,  荒川 浄 ,  小林 正宏
出願人/特許権者： 日本電気硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161923
公開番号（公開出願番号）：特開平10-337652
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 矩形の板状をした脆性材料からなる被研磨体を欠けやクラックを生じず高精度の平坦面に研磨できる研磨用キャリヤを提供する。【解決手段】 本願発明は、板状の被研磨体4を嵌合保持する矩形の保持部2を有し、且つそのコーナーに逃げ部2aを有する研磨用キャリヤ1において、前記保持部2と逃げ部2aとの接続箇所2bを滑らかに連続する弧状に形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

板状の被研磨体を嵌合保持する矩形の保持部を有し、且つそのコーナーに逃げ部を有する研磨用キャリヤにおいて、前記保持部と逃げ部との接続箇所を滑らかに連続する弧状に形成したことを特徴とする研磨用キャリヤ。