特許
J-GLOBAL ID：200903064012130868
静電吸引駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
野▲崎▼ 照夫
, 三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-299617
公開番号（公開出願番号）：特開2007-110840
出願日： 2005年10月14日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】 機械的に挟み込まなくとも可動子を拘束できる静電吸引駆動装置を提供する。【解決手段】 固定子側電極23が設けられた固定子20と、可動子側電極33を有するとともに前記固定子20に対向しながら移動方向に移動する可動子30と、前記固定子側電極23に所定の駆動電圧を与える信号源と、前記可動子に設けられた磁性体部40と、前記磁性体部40との間で磁気回路を形成するヨーク62を有し且つ前記磁性体部40に対し所定の磁界を与える磁場発生部60と、を有するようにした。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
固定子側電極が設けられた固定子と、可動子側電極を有するとともに前記固定子に対向しながら移動方向に移動する可動子と、前記固定子側電極に所定の駆動電圧を与える信号源と、前記可動子に設けられた磁性体部と、前記磁性体部との間で磁気回路を形成するヨークを有し且つ前記磁性体部に対し所定の磁界を与える磁場発生部と、を有することを特徴とする静電吸引駆動装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
2H044DA01
, 2H044DA02
, 2H044DB00
