特許

J-GLOBAL ID：200903064016006460

インクジェットヘッド

発明者： 阿部 修也
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-234420
公開番号（公開出願番号）：特開2000-062168
出願日： 1998年08月20日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 基板サイズの小サイズ化、実装工程の簡略化及び低価格化、振動板の対向電極の高密度化、工程の簡略化等を図る。【解決手段】 ノズル330と、ノズルに連通するインク液室130と、流路の一部に設けられた振動板120と、振動板に対向して設けられた個別電極220とを有する。振動板120に取り付けられた共通電極と個別電極220間に駆動電圧を印加し、振動板120を静電力により変形させ、ノズル330からインク液滴を吐出する。個別電極220は単結晶シリコン基板210の表面に形成されており、個別電極220に外部から電位を与えるための電極取り出しパッド250が単結晶シリコン基板210の振動板側120と反対の面に設けられている。個別電極220と個別電極取り出しパッド250間が、単結晶シリコン基板210中に埋め込まれた多結晶シリコン240で電気的に接続されている。

請求項（抜粋）：

ノズルと、該ノズルに連通するインク流路と、該流路の一部に設けられた振動板と、該振動板に対向して設けられた個別電極とを有し、前記振動板に取り付けられた共通電極と前記個別電極間に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させ、前記ノズルからインク液滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記個別電極は第1導電型の単結晶シリコン基板表面に形成されており、該個別電極に外部から電位を与えるための電極取り出しパッドが前記単結晶シリコン基板の前記振動板側と反対の面に設けられており、前記個別電極と前記個別電極取り出しパッド間が、前記単結晶シリコン基板中に埋め込まれた第2導電型の多結晶シリコンで電気的に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (13件)：

2C057AF36 ,  2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG54 ,  2C057AG55 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP33 ,  2C057AP34 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03