特許

J-GLOBAL ID：200903064020105635

磁気ヘッドスライダ及びその製造方法

発明者： 稲葉 宏 ,  佐々木 新治 ,  古澤 賢司 ,  山坂 稔
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 沼形 義彰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-181084
公開番号（公開出願番号）：特開2002-373477
出願日： 2001年06月15日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】 磁気ヘッド形成過程における磁気ヘッドスライダの製品歩留まりの向上、さらには耐久信頼性を大きく向上した磁気ヘッドスライダ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 磁気ヘッド浮上面7から深さ方向に2段以上の段差5、6を有し、浮上面7に近い段差部の深さが300nm以下である磁気ヘッドスライダ31において、磁気ヘッド浮上面7及びすべての段差部5、6に保護膜11を有する。保護膜11は、表面が劣化していない。

請求項（抜粋）：

磁気ヘッド浮上面から深さ方向に2段以上の段差を有し、該浮上面に近い段差部の深さが300nm以下である磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ヘッド浮上面及びすべての段差部に保護膜を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダ。

IPC (4件)：

G11B 21/21 101 ,  G11B 21/21 ,  G11B 5/39 ,  G11B 5/60

FI (8件)：

G11B 21/21 101 Z ,  G11B 21/21 101 K ,  G11B 21/21 101 L ,  G11B 21/21 101 P ,  G11B 5/39 ,  G11B 5/60 B ,  G11B 5/60 C ,  G11B 5/60 Z

Fターム (8件)：

5D034BA02 ,  5D034BA17 ,  5D034CA01 ,  5D034DA07 ,  5D042NA02 ,  5D042QA03 ,  5D042RA02 ,  5D042SA03