特許
J-GLOBAL ID:200903064021421034

液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-324375
公開番号(公開出願番号):特開2007-130536
出願日: 2005年11月09日
公開日(公表日): 2007年05月31日
要約:
【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量を各ノズルごとに測定する。【解決手段】液状材料111を液滴として吐出するノズル25を複数有する液滴吐出ヘッド2の液滴吐出量を測定する。ノズル25から液滴を吐出して、複数のノズル25毎に設けられた溝32内に充填する充填工程と、液状材料111が溝32内に充填された長さを計測する計測工程とを有する。溝32は、中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有する。溝32に充填された長さの計測値に基づいて、各ノズル25の液滴吐出量を推定する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定方法であって、 前記ノズルから前記液滴を吐出して、前記複数のノズルのぞれぞれに対応して設けられた溝内に充填する充填工程と、 前記液状材料が前記溝内に充填された長さを計測する計測工程とを有し、 前記溝は、中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有し、 当該溝に充填された長さの計測値に基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定することを特徴とする液滴吐出量測定方法。
IPC (5件):
B05D 3/00 ,  B05D 1/26 ,  G01B 21/02 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/00
FI (5件):
B05D3/00 D ,  B05D1/26 Z ,  G01B21/02 S ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/00
Fターム (28件):
2F069AA31 ,  2F069GG01 ,  2F069QQ00 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC86 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075CA37 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA34 ,  4F042AA06 ,  4F042BA03 ,  4F042BA12 ,  4F042CB07 ,  4F042DH09
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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