特許
J-GLOBAL ID:200903064025098505

信号検出装置および信号検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長尾 達也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-319702
公開番号(公開出願番号):特開2001-141637
出願日: 1999年11月10日
公開日(公表日): 2001年05月25日
要約:
【要約】【課題】プローブ信号のS/N比を向上させることができ、信号を高感度に検出することが可能となるマルチプローブに適した信号検出装置および信号検出方法を提供する。【解決手段】マルチプローブに固有の交流電圧を搬送波として印加し、該搬送波をピエゾ抵抗素子のコンダクタンスの変化で変調して出力された電流信号を検出する信号検出装置または方法であって、前記マルチプローブの各プローブから得られた変調信号を合成し、前記合成した変調信号からオフセット信号を除去し、この合成した変調信号からオフセット信号の除去された信号を、各プローブに印加した搬送波を参照して復調するように構成する。
請求項(抜粋):
マルチプローブに固有の交流電圧を搬送波として印加し、該搬送波をピエゾ抵抗素子のコンダクタンスの変化で変調して出力された電流信号を検出する信号検出装置であって、前記マルチプローブの各プローブから出力された変調信号を合成する信号合成手段と、前記信号合成手段による合成信号からオフセット信号を除去するオフセット信号除去手段と、前記合成信号から前記オフセット信号が除去された信号を、前記各プローブに印加した搬送波を参照して復調する検波手段と、を有することを特徴とする信号検出装置。
IPC (2件):
G01N 13/16 ,  G02B 21/00
FI (2件):
G01N 13/16 C ,  G02B 21/00
Fターム (3件):
2H052AA07 ,  2H052AD20 ,  2H052AD31

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