特許

J-GLOBAL ID：200903064033683387

回転カップ式液体供給装置

発明者： 藤山 重美 ,  山口 和伸 ,  佐合 宏仁
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 稲元 富保 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-285677
公開番号（公開出願番号）：特開平8-141476
出願日： 1994年11月18日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：

【要約】【目的】 ガラス基板等に塗布液を塗布する空間の減圧を速やかに行えるとともにメンテナンスが簡単な回転カップ式液体供給装置を提供する。【構成】 スピンナーによって真空チャック13とインナーカップ20を一体的に回転せしめ、遠心力により塗布液をガラス基板Wの表面に均一に拡散塗布する。このとき、遠心力によって突起体28内側の気体は突起体28と整流板42との間の隙間及び開口29を介して外側に流れ、突起体28内側の空間、即ちガラス基板Wを収納している空間は乱流の発生と圧力の変動が抑えられ、ガラス基板W表面に塗布された塗布液は均一な膜を形成する。

請求項（抜粋）：

アウターカップ内にスピンナーによって回転せしめられるインナーカップを配置し、このインナーカップの上面開口を閉塞する蓋体下面にインナーカップ内にセットされた板状被処理物表面に対向する整流板を取り付けた回転カップ式液体供給装置において、前記インナーカップ内底部上に前記板状被処理物と相似形で且つ板状被処理物の外周端近傍に、前記蓋体でインナーカップの上面開口を閉塞した状態で整流板との間に微細な隙間が形成される位置に突起体を設けたことを特徴とする回転カップ式液体供給装置。

IPC (3件)：

B05C 11/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/316

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-087665
  
• 特開平4-078467
  
• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-355935   出願人：東京応化工業株式会社