【課題】凹部や空洞の周辺部の変形およびそこに形成された導体部の不具合を防止し、また層間剥離がなく寸法精度の良いセラミック構造体及びその製造方法を提供する。【解決手段】セラミックグリーンシートA、Bを複数枚積層し焼成して、表面の凹部7及び内部の空洞の少なくとも一方を有するセラミック構造体を製造するに際し、セラミックグリーンシートの凹部7となる部位及び空洞となる部位に樹脂シート2を載置し、セラミックグリーンシートを複数枚積層し焼成する際に熱分解されて除去される樹脂シート2であって、樹脂シート2の最上層部の80%重量減少温度をTa°C、最下層部の80%重量減少温度をTb°C、樹脂シート2が載置されるセラミックグリーンシートに含まれる樹脂バインダーに含まれる樹脂バインダーの20%重量減少温度をTc°CとしたときにTa
請求項(抜粋):
セラミックグリーンシートを複数枚積層し焼成することによって、表面の凹部および内部の空洞の少なくとも一方を有するセラミック構造体を製造するに際して、前記セラミックグリーンシートの前記凹部となる部位および前記空洞となる部位に樹脂シートを載置し、前記セラミックグリーンシートを複数枚積層し焼成する際に熱分解されて除去される樹脂シートであって、該樹脂シートの最上層部の80%重量減少温度をTa°C、最下層部の80%重量減少温度をTb°C、前記樹脂シートが載置される前記セラミックグリーンシートに含まれる樹脂バインダーの20%重量減少温度をTc°Cとしたときに、Ta
IPC (3件):
H01L23/02
, B28B11/00
, H01L23/12
FI (3件):
H01L23/02 Z
, H01L23/12 D
, B28B11/00 Z
Fターム (8件):
4G055AA08
, 4G055AC01
, 4G055AC09
, 4G055BA14
, 4G055BA22
, 4G055BA43
, 4G055BA63
, 4G055BA83
引用特許:
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