特許
J-GLOBAL ID：200903064039235009
走査式光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-167895
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003611
出願日： 1992年06月25日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】 描画光のエネルギーを低下、像面上でのモニター光のモレによる光量の変化がなく、しかも、モニター光の走査線が湾曲することのない走査式光学装置を提供することを目的とする。【構成】 描画光を発生するガスレーザー10と、描画光とは波長が異なるモニター光を発する半導体レーザー50と、各光源からの光束を偏向、走査させるポリゴンミラー20と、ポリゴンミラー20により偏向される光束を描画面40上に結像させる走査レンズ30と、走査レンズ30と描画面40との間に設けられ、描画光の光路からモニター光を分離するダイクロイックミラー60と、分離されたモニター光を受光してモニター信号を発生する信号発生手段Aとを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
描画光を発生する描画用光源と、前記描画光とは波長が異なるモニター光を発するモニター用光源と、前記各光源からの光束を偏向、走査させる偏向器と、前記偏向器により偏向される光束を描画面上に結像させる走査レンズと、前記偏向器と前記描画面との間に設けられ、描画光の光路からモニター光を分離する分離手段と、分離されたモニター光を受光してモニター信号を発生する信号発生手段とを有することを特徴とする走査式光学装置。
IPC (3件)：
G02B 26/10
, G03B 33/12
, B23K 26/02
