特許

J-GLOBAL ID：200903064041338869

光学薄膜及び光学素子及び光学装置

発明者： 谷 裕久
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-246338
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074931
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 レーザ耐久性の高い紫外域レーザ用光学薄膜を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の光学薄膜は、光学基板1上に、密度が2.6g/cm3以上の1層以上の酸化アルミニウム層2と1層以上の酸化ケイ素層3とから構成され、波長が150nm以上200nm以下の紫外光で用いられる。

請求項（抜粋）：

光学基板上に密度が2.6g/cm3 以上の1層以上の酸化アルミニウム層と1層以上の酸化ケイ素層とを積層状に具えることを特徴とする光学薄膜。

IPC (8件)：

G02B 5/26 ,  C03C 17/245 ,  C03C 17/34 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/10 ,  C23C 14/32 ,  C23C 14/48 ,  G02B 5/28

FI (9件)：

G02B 5/26 ,  C03C 17/245 A ,  C03C 17/34 Z ,  C23C 14/08 N ,  C23C 14/08 A ,  C23C 14/10 ,  C23C 14/32 Z ,  C23C 14/48 D ,  G02B 5/28

Fターム (30件)：

2H048FA05 ,  2H048FA07 ,  2H048FA18 ,  2H048FA24 ,  2H048GA09 ,  2H048GA34 ,  2H048GA60 ,  4G059AA11 ,  4G059AC04 ,  4G059EA01 ,  4G059EA05 ,  4G059EB02 ,  4G059EB03 ,  4G059EB04 ,  4G059GA01 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA44 ,  4K029BA46 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029CA09 ,  4K029DB21 ,  4K029DC05 ,  4K029EA01