多層型圧電アクチュエータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-122225
公開番号（公開出願番号）：特開平9-289342
出願日： 1996年04月19日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成により、信頼性が向上すると共に、ヒテテリシスが低減されるようにした、多層型圧電アクチュエータを提供すること。【解決手段】複数の圧電板11a乃至11fと、各圧電板の間及び外側面に配設された電極12とを含んでいる、多層構造バイモルフ型圧電アクチュエータ10において、各圧電板の厚さが、中心から外側に向かって徐々に薄くなるように、選定されるように、バイモルフ型圧電アクチュエータ10を構成する。

請求項（抜粋）：

複数の圧電板と、各圧電板の間及び外面側に配設された電極とを含んでいる、多層型圧電アクチュエータにおいて、各圧電板の厚さが、積層方向に関して中心から外側に向かって徐々に薄くなるように、選定されていることを特徴とする多層型圧電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H01L 41/09 , G11B 21/02 601

FI (2件)：

H01L 41/08 M , G11B 21/02 601 G

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