特許
J-GLOBAL ID：200903064046472776

高周波微小振動測定装置

発明者：
福間 剛士

福間 剛士 について

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小林 圭

小林 圭 について

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山田 啓文

山田 啓文 について

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松重 和美

松重 和美 について


出願人/特許権者：
関西ティー・エル・オー株式会社

関西ティー・エル・オー株式会社 について


代理人 (2件)： 小林 良平 ,  竹内 尚恒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-091217
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274495
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 高周波であって微小な振動を測定することができる振動測定装置を提供する。 【解決手段】 周波数ωで振動する被測定物10に、レーザダイオード14から、周波数ωmで強度変調した光を照射する。この被測定物10により反射された光を、2つの領域に分割された分割フォトダイオード16で検出する。この2つの領域で受光される反射光の強度の差には、周波数(ω-ωm)のうなりの成分が含まれる。このうなりの周波数を周波数検出回路17により算出することにより、周波数ωを求める。従来、検出器の性能上、ωが1MHzを超えると高い精度での測定は困難であったが、本発明ではωmを適切に設定することにより(ω-ωm)を1MHz以下にすることができるため、ωが1MHzを超えても高い精度で測定を行うことができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
物体の振動周波数を測定するための装置であって、 a)所定の変調周波数で強度変調した光を発生させて測定対象の物体に照射する光発生部と、 b)測定対象の物体により反射された光を受光して検出し、前記強度変調及び受光面積の変化により生じる、検出光の強度変化に係る周波数を算出する検出部と、 を備えることを特徴とする高周波微小振動測定装置。
IPC (3件)：
G01H9/00 ,  G01N13/10 ,  G01N13/16
FI (3件)：
G01H9/00 B ,  G01N13/10 F ,  G01N13/16 A
Fターム (8件)：
2G064AA11 ,  2G064AB01 ,  2G064AB02 ,  2G064BC02 ,  2G064BC24 ,  2G064BC32 ,  2G064CC41 ,  2G064CC43
引用特許：
審査官引用 (4件)
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