特許
J-GLOBAL ID：200903064049917221
露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-087682
公開番号（公開出願番号）：特開2006-267771
出願日： 2005年03月25日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 短時間で露光が可能な露光装置を提供する。【解決手段】 露光装置1は外箱3aを有し、外箱3aの内部には内箱3bが設けられている。 内箱3bには遮蔽板7a、7b、7c、7d、7e、7f、7g、7h、7i、7j、7k、7lおよび遮光板17が設けられている。 遮蔽板7a、7b、7c、7d、7e、7f、7g、7h、7i、7j、7k、7l、内箱3bおよび遮光板17の表面には、紫外線を吸収する皮膜が設けられており、ランプ9aから照射された紫外線は、遮蔽板7a、7b、7c、7d、7e、7f、7g、7h、7i、7j、7k、7l、内箱3bおよび遮光板17に照射されると、大部分が皮膜に吸収される。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
感光層を有する基板を露光する露光装置であって、
暗箱と、
前記暗箱の内面に設けられ、上方を搬送される前記基板の前記感光層に対して遮光部を介して紫外線を照射する紫外線照射装置と、
を有し、
前記暗箱の内面には、前記紫外線照射装置から照射された紫外線を吸収する皮膜が設けられていることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/20 501
, G02F1/13 101
2H088EA67
, 2H088FA18
, 2H088FA30
, 2H088HA03
, 2H088HA04
, 2H088HA06
, 2H088HA08
, 2H088MA16
, 2H088MA20
, 2H097BA02
, 2H097BA10
, 2H097JA02
, 2H097LA12
