特許

J-GLOBAL ID：200903064050794397

チップ装着機のチップ吸着ノズル検査装置

発明者： 佐生 恵一 ,  松本 幸治
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054058
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260431
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 チップ吸着ノズルの検査時間を短縮できるようにしたチップ装着機のチップ吸着ノズル検査装置を得る。【構成】 チャック固定ヘッド21にコレットチャック26を介して支持したチップ吸着ノズル2の先端部にセンサ装置33のレーザ発光部36からレーザ受光部38に向かってレーザ光を照射し、レーザ光がノズル先端部に遮光される遮光量に応じた電圧値の変化をミリメータの長さ単位に変換される変換機能付表示機39でモニタ表示し、欠損あるいは磨耗によるノズル先端部の長さを測定するようにした。

請求項（抜粋）：

被検査部材となるチップ吸着ノズルが挿着されるチャック部材と、上記チャック部材が挿着されるチャック挿着部を有するチャック固定ヘッドと、上記チップ吸着ノズルの長さをレーザ発光部からレーザ受光部に向かって照射させたレーザ光により測定するセンサ装置と、上記チップ吸着ノズルの偏心を測定するためのダイヤル付きゲージと、上記センサ装置及び上記ダイヤル付きゲージを移動可能にするX軸ステージ、Y軸ステージ及びZ軸ステージとから構成したことを特徴とするチップ装着機のチップ吸着ノズル検査装置。