特許

J-GLOBAL ID：200903064061351918

拡散板の製造方法

発明者： 山崎 正明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157442
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343531
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 圧痕法であっても拡散が均一になる、拡散板の製造方法を提供する。【解決手段】 複数列のうち一つの列の第1の開始位置(x11,y1 )ら、所定方向に所定の間隔P被加工物に圧痕を形成する第1の工程と、さらに、他の列(y2 )において、隣り合う列(y1 )に形成された圧痕と隣接しない位置(x12,y2 )から、所定の方向に前記所定の間隔Pと同じ間隔で圧痕を形成し、全ての列に行う第2の工程と、次に、第1列目(y1 )上でまだ圧痕が形成されていない第2の開始位置(x21,y1 )から所定方向で且つ所定の間隔Pと同じ間隔で圧痕を形成する第3の工程と、さらに、他の列(y2 )において、隣り合う列上でまだ圧痕が形成されていない位置(x22,y2 )から、所定方向に所定の間隔Pで圧痕を形成し、全ての列に行う第4の工程とを施す。

請求項（抜粋）：

圧痕法により被加工物に複数列のほぼ同じ大きさの圧痕を形成し、または前記圧痕が形成された前記被加工物の反転形状を得ることで製造される拡散板の製造方法において、前記複数列のうち一つの列の第1の開始位置から、所定方向に所定の間隔で前記被加工物に圧痕を形成する第1の工程と、さらに、他の列において、隣り合う列に形成された圧痕と隣接しない位置から、前記所定の方向に前記所定の間隔と同じ間隔で圧痕を形成し、前記被加工物の所定の範囲における全ての列に行う第2の工程と、次に、前記第1列目上でまだ圧痕が形成されていない第2の開始位置から前記所定方向で且つ前記所定の間隔で圧痕を形成する第3の工程と、さらに、他の列において、隣り合う列上でまだ圧痕が形成されていない位置から、前記所定方向に前記所定の間隔と同じ間隔で圧痕を形成し、前記被加工物の所定の範囲における全ての列に行う第4の工程とを少なくとも施すことにより、前記被加工物に圧痕を形成することを特徴とする拡散板の製造方法。

IPC (5件)：

B29C 33/42 ,  B29C 33/38 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/02 ,  B29L 11:00

FI (5件)：

B29C 33/42 ,  B29C 33/38 ,  G02B 3/00 A ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 5/02 B

Fターム (12件)：

2H042BA03 ,  2H042BA15 ,  2H042BA17 ,  2H042BA19 ,  4F202AC03 ,  4F202AF01 ,  4F202AG01 ,  4F202AH75 ,  4F202CA09 ,  4F202CB01 ,  4F202CD05 ,  4F202CD28