特許
J-GLOBAL ID：200903064066221796
光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-173609
公開番号（公開出願番号）：特開平5-019225
出願日： 1991年07月15日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】【目的】 物体形状あるいはその変化を実時間で計測するための汎用的な光学装置を提供する。【構成】 コヒーレント光源と、干渉計と、前記干渉計で得られた干渉縞を入力する撮像素子と、前記干渉計において参照波面を発生させるための液晶素子と、前記撮像素子と前記液晶素子を接続する回路を備えて成ることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
物体形状あるいは物体形状の変化を計測する技術に関し、コヒーレント光源と、干渉計と、前記干渉計で得られた干渉縞を入力する撮像素子と、前記干渉計において参照波面を発生するための液晶素子と、前記液晶素子に対する信号発生手段を備えて成ることを特徴とする光学装置。
IPC (2件)：
G02F 1/13 505
, G01B 11/24
