特許
J-GLOBAL ID：200903064067088712
静電レンズ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-041895
公開番号（公開出願番号）：特開平10-241616
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 色収差の小さい静電レンズを提供する。【解決手段】 静電レンズ24の内部に、入射した荷電粒子線2を加速する加速用電極10,11と減速する減速用電極12とを設けた。
請求項（抜粋）：
静電レンズの内部に、入射した荷電粒子線を加速する加速用電極と減速する減速用電極とを設けたことを特徴とする静電レンズ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
-
特開昭63-121240
-
特開昭63-055843
前のページに戻る
