特許

J-GLOBAL ID：200903064067973015

静電容量式力学量センサ

発明者： 堀江 潤一 ,  市川 範男 ,  半沢 恵二 ,  横田 吉弘
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-057770
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256871
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】電極面積を大きくすることや電極間の空隙を小さくすることなしに電極間の静電容量を大きくすることによって、誤差の少ない、S/N比が良好な静電容量式力学量センサを提供すること。【構成】少なくとも1つの固定電極と、該固定電極に対向して配置された可動電極と、該可動電極を支持するバネ部とを有する静電容量式力学量センサにおいて、前記可動電極と前記固定電極の間の少なくともいずれか一方の面に誘電体を設けた静電容量式力学量センサ。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの固定電極と、該固定電極に対向して配置された可動電極と、該可動電極を支持するバネ部とを有する静電容量式力学量センサにおいて、前記可動電極と前記固定電極の間の少なくともいずれか一方の面に誘電体を設けたことを特徴とする静電容量式力学量センサ。