特許
J-GLOBAL ID：200903064077986590
イオンビーム電流検出機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-095636
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289683
出願日： 1997年04月14日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】イオン注入の電流調整時におけるイオンビーム電流検出機構において、イオンビームがビーム電流検出用のプレート6への局部照射による穴明き現象を防止し、プレート6の延命を図る。【解決手段】ファラディカップを往復運動させるモータ1aの回転を直線運動に変える走査機構1を設け、プレート6にイオンビームを走査し、プレート6の局所的ダメージの防止している。
請求項（抜粋）：
アパーチャを通過するイオンビームが入り込む穴を有し前記イオンビームが照射されるビーム電流検出プレートを具備するファラディカップと、前記アパーチャの真下において所定の距離だけ前記ファラディカップを往復移動させ前記ビーム電流検出プレートに前記イオンビームを走査する走査機構と、前記ファラディカップを前記アパーチャの真下から退避させたり前記アパーチャの真下に位置決めしたりするアパーチャ位置決め機構とを備えることを特徴とするイオンビーム電流検出機構。
IPC (5件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01J 37/04
, H01J 37/09
, H01L 21/265
H01J 37/317 C
, C23C 14/48 B
, H01J 37/04 A
, H01J 37/09 A
, H01L 21/265 T
