露光照明装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-057401
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243964
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】露光照明装置に関し、露光照明用パルスレーザ光のパルス数およびパルス幅を最適化することにより、露光時間の短縮化と低消費電力化を実現する。【解決手段】光源に個体レーザが発振出射するn次高調波(n≧4、5、・・・)を用い、パルス数Nとパルス幅τとを、(τ<SP>n-1</SP>/k<SB>n</SB>)(E<SB>EXP</SB>-E<SB>M</SB>)<N<(τ<SP>n-1</SP>/k<SB>n</SB>)(E<SB>EXP</SB>+E<SB>M</SB>)[k<SB>n</SB>:n次高調波を表す定数、E<SB>EXP</SB>:最適露光エネルギー、E<SB>M</SB>:露光エネルギーマージン](3/a)<SP>2</SP>{1+τ<SP>2</SP>(ν/ρ<SB>0</SB>)<SP>2</SP>}<SP>-1/2</SP><N<(3/b)<SP>2</SP>{1+τ<SP>2</SP>(ν/ρ<SB>0</SB>)<SP>2</SP>}<SP>-1/2</SP>[ν:回転拡散板の回転速度、ρ<SB>0</SB>:回転拡散板の移動量、a:スペックルマージンの上限を規定する定数、b:同じく下限を規定する定数]を満たす値にする。

請求項（抜粋）：

半導体装置や液晶表示装置などの電子デバイスの製造工程においてマスク上に形成された回路などのパターンを基板上に露光する際に使用される露光装置などの照明用光源装置として用いられる露光照明装置であって、固体レーザが発振出射するパルスレーザ光を波長変換したn(nは2以上の自然数)次高調波パルスレーザ光を出射する光源と、該光源が出射するn次高調波パルスレーザ光のスペックルを平均化する回転拡散板とを備え、n次高調波パルスレーザ光のパルス数Nとパルス幅τとが次の式(1)および式(2)、すなわち、 (τ<SP>n-1</SP>/k<SB>n</SB>)(E<SB>EXP</SB>-E<SB>M</SB>)<N<(τ<SP>n-1</SP>/k<SB>n</SB>)(E<SB>EXP</SB>+E<SB>M</SB>) ・・・(1)ここで、k<SB>n</SB>:n次高調波を表す定数E<SB>EXP</SB>:最適露光エネルギーE<SB>M</SB>:露光エネルギーマージン (3/a)<SP>2</SP>{1+τ<SP>2</SP>(ν/ρ<SB>0</SB>)<SP>2</SP>}<SP>-1/2</SP><N <(3/b)<SP>2</SP>{1+τ<SP>2</SP>(ν/ρ<SB>0</SB>)<SP>2</SP>}<SP>-1/2</SP> ・・・(2)ここで、ν:拡散板の照射部の速度(回転中心までの距離×角速度)ρ<SB>0</SB>:スペックルパターンの相関が1/e(eは指数)になる回転拡散板の移動量a:スペックルマージンの上限を規定する定数b:スペックルマージンの下限を規定する定数を満たすことを特徴とする露光照明装置。

IPC (7件)：

G02B 27/48 , G02B 27/00 , G02F 1/37 , G03F 7/20 505 , H01S 3/10 , H01S 3/109 , H05K 3/00

FI (7件)：

G02B 27/48 , G02F 1/37 , G03F 7/20 505 , H01S 3/10 Z , H01S 3/109 , H05K 3/00 H , G02B 27/00 V

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