電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿部龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012256
公開番号（公開出願番号）：特開平10-208678
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】対物レンズの球面係数、色収差係数を改善する。【解決手段】超高真空中に対物レンズ2を配置して試料1に電子線や光を照射し試料1からの放出電子による像を観察する電子顕微鏡において、対物レンズ2に磁界レンズを用いると共に、該磁界レンズ2は、ヨークの試料1側に開口aを有し銅線に放出ガスの少ない材料をコーティングした線材を用いる。また、放出ガスの少ない材料はアルミナであり、磁界レンズ1は、セミインレンズ構造のものとする。

請求項（抜粋）：

超高真空中に対物レンズを配置して試料に電子線や光を照射し試料からの放出電子による像を観察する電子顕微鏡において、前記対物レンズに磁界レンズを用いると共に、該磁界レンズは、ヨークの試料側に開口を有し銅線に放出ガスの少ない材料をコーティングした線材を用いることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/141 , G01N 23/225 , G01N 23/227 , H01J 37/26

FI (4件)：

H01J 37/141 Z , G01N 23/225 , G01N 23/227 , H01J 37/26

前のページに戻る