特許
J-GLOBAL ID:200903064080017948

粒度分布測定器の検定基準用固定標本の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 江原 望 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-304431
公開番号(公開出願番号):特開平5-332913
出願日: 1989年09月12日
公開日(公表日): 1993年12月17日
要約:
【要約】【目的】 粒子像をランダムに配列した固定標本の製造方法を供する。【構成】 正方画面上に粒子像を所定個数ランダムに配置した元図を作成し、同元図を縮小転写して所定単位面積の正方形のフォトレジスト用原画を作成し、同原画を複数上下左右の姿勢をランダムに変えながら縦横に敷きつめてフォトマスクを形成し、同フォトマスクを透明基板に焼きつけて粒子像を成膜して固定標本を製造することを特徴とする粒度分布測定器の検定基準用固定標本の製造方法。
請求項(抜粋):
正方画面上に粒子像を所定個数ランダムに配置した元図を作成し、同元図を縮小転写して所定単位面積の正方形のフォトレジスト用原画を作成し、同原画を複数上下左右の姿勢をランダムに変えながら縦横に敷きつめてフォトマスクを形成し、同フォトマスクを透明基板に焼きつけて粒子像を成膜して固定標本を製造することを特徴とする粒度分布測定器の検定基準用固定標本の製造方法。
IPC (2件):
G01N 15/00 ,  G01N 1/00 102

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