特許
J-GLOBAL ID：200903064080054878
基板処理装置および基板搬入搬出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-063361
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261686
出願日： 1997年03月17日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 基板収納容器の交換作業のための載置台を必要とせず、それによってフットプリントの増大を抑制することが可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】 基板処理装置の基板搬入搬出領域のカセット載置部6の側面aに、カセット101を一時的に載置するカセット支持台10を設ける。カセット支持台10はカセット載置部6に収納され、カセットの交換作業時に、カセット載置部6の側面6aから外方に突出する。カセット保持台10は駆動手段により、または手動により開閉され、あるいはカセット載置部6の内部から引き出される。カセット支持台10上には、処理前のカセット101あるいは処理済のカセット101が一時的に載置される。
請求項（抜粋）：
基板に対して所定の処理を行う処理部と、前記処理部との間で受け渡される基板を収納した基板収納容器を支持する載置面を有する基板搬入搬出部とを備えてなる基板処理装置において、前記基板収納容器を一時的に支持する支持部材が前記基板搬入搬出部から外方に突出した位置と、前記基板搬入搬出部に収納された位置とを移動可能に設けられたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/02 Z
