特許

J-GLOBAL ID：200903064085154935

エッジ部の検査装置

発明者： 西 重幸 ,  上田 拓志 ,  八木原 潔
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-274009
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108639
出願日： 1997年10月07日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 平面部とR面部からなる稜線部に加工跡がある場合でも、稜線部に生じる傷、凹凸欠陥のみを正しく検査する検査装置【解決手段】 ライン状の光束を被検査体に照射する2本の光源と、被検査体を撮像して画像信号を出力する撮像装置と、この撮像装置からの画像信号データ処理を行なって被検査体の平面部と面取部からなる稜線又は被検査体の平面部とR面部からなる稜線に生じる傷や凹凸欠陥を検出する画像処理装置を備えた金属稜線部の検査装置において、上記光源を試料の平面部と面取部又はR面部からなる稜線部に対して、平行に平面部側と面取側又はR面部側に2本の線状光照射できるように配したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

エッジをなす二面の各々のエッジ近傍に平行に光線を照射する照明手段と、二つの照射光を同時に受光する撮像手段と、撮像手段の信号から欠陥を検出する処理装置とを備えたエッジ部の検査装置。