特許

J-GLOBAL ID：200903064089708218

プラズマ処理装置のプラズマモニタ装置

発明者： 佐々木 一郎 ,  大坪 徹
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058405
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259250
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 処理室内のプラズマ状態および処理室内壁の付着物堆積状況を、採光窓の影響を受けることなく外部から正確にモニタし、プラズマ処理装置における処理特性の経時変化を正しくモニタすることができるプラズマ処理装置におけるプラズマモニタ装置を提供する。【構成】 プラズマ処理装置のプラズマモニタ装置において、スペクトル分布が既知の連続的な波長成分を有する光を前記処理室外から採光窓4a,4bに垂直に入射可能な参照光源7と、該参照光源7からのプラズマ発生前の参照光および該参照光を停止しプラズマ発生後のプラズマからの光を、前記採光窓を通過した処理室外にて順に受光する分光器10と、該分光器10に受光した前記参照光およびプラズマからの光の各スペクトル分布を比較演算する演算手段20,21,22とからなるプラズマからの光の採光窓透過特性を検出する検出手段を設ける。

請求項（抜粋）：

真空保持構造を有しプラズマからの発光を外部へ取り出す採光窓を設けた処理室と、該処理室に処理ガスを導入する手段と、該処理室内にプラズマを発生維持する手段とを有し、発生したプラズマ状態をモニタしながら該プラズマにより試料台上のウエハを処理するプラズマ処理装置のプラズマモニタ装置において、スペクトル分布が既知の連続的な波長成分を有する光を前記処理室外から採光窓に入射可能な参照光源と、該参照光源からのプラズマ発生前の参照光および該参照光を停止しプラズマ発生後のプラズマからの光を、前記採光窓を通過した処理室外にて順に受光する分光器と、該分光器に受光した前記参照光およびプラズマからの光の各スペクトル分布を比較演算する演算手段とからなるプラズマからの光の採光窓透過特性を検出する検出手段を設けたことを特徴とするプラズマ処理装置のプラズマモニタ装置。

IPC (8件)：

H01L 21/66 ,  C23C 14/54 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  G01N 21/73 ,  H05H 1/00 ,  H05H 1/46 ,  H01L 21/31