ローリングダイヤフラムポンプ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鈴江正二 , 木村俊之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-208774
公開番号（公開出願番号）：特開2007-023935
出願日： 2005年07月19日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：

【課題】フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム3を採用して、ポンプの耐薬品性及び定量性を確保しながら、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム3に亀裂や孔等が生じ難く、且つ、ポンプの吐出量及び吐出速度を変更調節することができ、例えば、半導体のレジスト液塗布用ポンプ等、半導体や液晶プロセス用ポンプとして使用できる耐久性及び汎用性に優れたローリングダイヤフラム(定量)ポンプを提供する。【解決手段】ローリングダイヤフラムポンプは、シリンダ1、ピストン2及びローリングダイヤフラム3により画成され、液体の吸込口6及び吐出口7が開口された圧力室4を備える。そして、ポンプ駆動源としてリニアアクチュエータ8を備え、この出力軸18をピストン2に結合すると共に、ピストン2とシリンダ1間にピストン2の往復移動を許容して回転を規制する回り止め手段19,20を設け、ピストン2を往復駆動する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリンダ内に収容されて往復駆動されるピストンと、このピストンにその内周部が取付けられ、ピストン外周の折返部を経てその外周部がシリンダに取付けられたローリングダイヤフラムと、これらシリンダ、ピストン及びローリングダイヤフラムにより画成された圧力室と、圧力室にそれぞれ連通する流体の吸込口及び吐出口とを備えたローリングダイヤフラムポンプにおいて、ポンプ駆動源としてモータ部の回転運動を直線運動に変換して出力するリニアアクチュエータを備え、このリニアアクチュエータの出力軸をピストンに結合すると共に、ピストンとシリンダ間にこのピストンの往復移動を許容して回転を規制する回り止め手段を設けたことを特徴とするローリングダイヤフラムポンプ。

IPC (1件)：

F04B 43/02

FI (1件)：

F04B43/02 M

Fターム (10件)：

3H077AA20 , 3H077CC02 , 3H077EE05 , 3H077EE22 , 3H077EE23 , 3H077EE34 , 3H077FF07 , 3H077FF08 , 3H077FF12 , 3H077FF31

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開昭61-197779号公報

審査官引用 (4件)

特開昭58-013180
特開昭61-197779
薬液供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-224186 出願人：株式会社コガネイ

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