特許

J-GLOBAL ID：200903064103965180

熱型赤外線センサ

発明者： 松本 尚平
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-222198
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055557
出願日： 1993年08月13日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 2次元イメージセンサの集積度を高めて空間分解能を上げるため、熱コンダクタンスを小さくすると共に、単位画素当たりの受光量をできるだけ大きくしてダイヤフラムの温度上昇を最大にし、ダイヤフラムの下地への接触を防止する。【構成】 熱型赤外線センサは、画素サイズ1の4隅から中心近傍まで長く設定された4本の梁2と、梁2の間で画素サイズ1の周囲に向かって可及的に拡張されて略十字形状に形成された赤外線吸収領域3、及び低抵抗領域4aが梁2を通り、高抵抗領域4bのセンス部が梁2の端部に囲まれた中央部分に配設されボロメータ4を備え、梁2に支えられたダイヤフラム5とで構成される。梁2の下層は第1窒化膜6であり、赤外線吸収領域3の赤外線吸収層3aの下に、第3酸化膜13の上層として第2窒化膜7が設けられる。

請求項（抜粋）：

画素サイズの4隅から中心に向かって延びた4本の梁と、赤外線吸収領域及び感熱材料を備え、前記梁に支えられたダイヤフラムとから成る熱型赤外線センサにおいて、前記梁は中心近傍まで長く設定され、前記赤外線吸収領域は、前記梁の間で画素サイズの周囲に向かって可及的に拡張されて略十字形状に形成され、前記感熱材料は、低抵抗領域が前記梁を通り、高抵抗領域のセンス部が前記梁の端部に囲まれた部分に配設されることを特徴とする熱型赤外線センサ。