特許

J-GLOBAL ID：200903064106430067

カラー表示用基板,電気光学装置用基板,電子機器,投写型表示装置及びカラー表示用基板の製造方法

発明者： 安川 昌宏
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 山田 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-245519
公開番号（公開出願番号）：特開2000-075277
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 光学多層膜や異質透明物質膜で形成される色相の異なる干渉膜フィルタを具備する基板において、実用化に適した構造のカラー表示用基板の提供。【解決手段】 青色用選択反射の干渉フィルタFB と赤色用選択反射の干渉フィルタFR の下層にはアルミナ又は酸化マグネシウムから成る第1の透明エッチングストッパ層54Bと第2の透明エッチングストッパ層54Bが挟まれている。最初に完成された干渉フィルタFR を第1の透明エッチングストッパ層54で覆うことができるため、次に完成すべき干渉フィルタFB のパターニングの際に完成済み干渉フィルタFR を損傷せず、異なる色相の干渉フィルタを順に形成できる。このため、各色相の干渉フィルタを光学多層膜や異質透明物質膜で構成でき、リップルを抑制した色相帯域のシャープカットオフ特性のカラーフルタを実用的に得ることができる。

請求項（抜粋）：

基板上の異なる部位に異なる色相の干渉フィルタを配置して成るカラー表示用基板において、少なくともいずれか一の色相の干渉フィルタの下層膜として透明エッチングストッパ層を含むことを特徴とするカラー表示用基板。

IPC (4件)：

G02F 1/1335 ,  G02F 1/13 500 ,  G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 348

FI (4件)：

G02F 1/1335 ,  G02F 1/13 500 ,  G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 348 Z

Fターム (45件)：

2H091FA01Y ,  2H091FA02Y ,  2H091FA05X ,  2H091FA07X ,  2H091FA10X ,  2H091FA14Y ,  2H091FA14Z ,  2H091FA26X ,  2H091FC01 ,  2H091FC26 ,  2H091FD06 ,  2H091GA01 ,  2H091GA02 ,  2H091GA03 ,  2H091GA07 ,  2H091GA16 ,  2H091KA01 ,  2H091LA15 ,  2H091MA07 ,  2H091MA10 ,  2H092KB26 ,  2H092MA17 ,  2H092NA25 ,  2H092PA01 ,  2H092PA08 ,  2H092RA05 ,  5C094AA05 ,  5C094AA08 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA16 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EA05 ,  5C094EA06 ,  5C094EB02 ,  5C094ED01 ,  5C094ED03 ,  5C094ED11 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB16 ,  5C094GB10