ガスセンサ及びガス検知方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-336674
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198644
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】低温で感度ピークを持つガスを素早く検知することができ、且つガス弁別性に優れたガスセンサ及ぶガス検知方法を提供することにある。【構成】ガスセンサ2は、に示すように外形形状がラクビーボール状若しくは楕円球状に形成したSnO2 に貴金属触媒を加えたガス感応金属酸化物半導体2c中に貴金属線(25μφ以下)からなるヒータ兼用電極コイル2aを埋設し、この電極コイル2aの内部に貴金属線(25μφ以下)からなる検知電極2bを設けた構造のものであり、ガス感応金属酸化物半導体2cの電極コイル2aの長手方向の寸法aを約0.4mmとするとともに、長手方向に対して直交する方向の断面の直径を約0.4mmとし、また電極コイル2aの内径Rと、コイル電極2aの長さlとの関係を1:1乃至4の範囲に設定したものである。

請求項（抜粋）：

円球、楕円球等の略球体状に形成されたガス感応金属酸化半導体中に貴金属線からなるヒータ兼用電極コイルを埋設するとともにヒータ兼用電極コイルの内部に貴金属からなる検知電極を設けて形成され、ヒータ兼用電極コイルの長手方向に対応するガス感応金属酸化半導体の外形寸法を約0.8mm以下とし且つ上記長手方向に直交する外形寸法を約0.7mm以下としたことを特徴とするガスセンサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-238452
特開昭62-238452

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