特許
J-GLOBAL ID：200903064113886564
制御ループ内に含まれる超小型電気機械的構造の自動校正用装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-347845
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202320
出願日： 2001年11月13日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：
【要約】【課題】 従来の欠点を少なくとも部分的に克服する。【解決手段】 感知装置50′は超小型電気機械構造体とそれを制御する制御ループ53′とを有する。その構造体は固定子とそれに結合された回転子とを有する。制御ループ53′は回転子の位置を示す位置信号VOUTを供給する位置インタフェース56と、位置信号VOUTを受け取り、対応するビットシーケンスOUTを供給する1ビット量子化器66とを有する。感知装置50′はその構造体を目盛補正し、回転子に結合されたマイクロアクチュエータを含む目盛補正装置84,86と、そのアクチュエータを駆動し、ビットシーケンスOUTを受け取り、所定タイムウィンドウ内でビットシーケンスOUTの平均値MBSと相関関係な駆動信号VCALをそのアクチュエータに供給する駆動回路84,86とを更に有する。
請求項（抜粋）：
半導体材料から作られた超小型電気機械構造体(1)と、前記超小型電気機械構造体(1)を制御する制御ループ(53′)とを有し、前記超小型電気機械構造体(1)が、固定子要素(2)と、これと一緒に静電気的に結合した回転子素要素(4)とを有し、前記制御ループ(53′)が、前記超小型電気機械構造体(1)に結合され、そして前記回転子要素(4)の位置を表示する位置信号(VOUT)を供給するインタフェース手段(56)を有する感知装置(50′)であって、前記感知装置が、前記超小型電気機械構造体(1)を目盛補正する目盛補正手段(24,84,86)を更に有し、前記目盛補正手段が、半導体材料から作られ、前記回転子要素(4)に結合されるアクチュエータ手段(24)と、前記アクチュエータ手段(24)を駆動するための第1駆動手段(84,86)とを備え、前記第1駆動手段が、前記位置信号(VOUT)を受け取り、前記位置信号(VOUT)の平均値(MBS)と相関関係にある駆動信号(VCAL)を前記アクチュエータ手段(24)に供給することを特徴とする感知装置。
IPC (4件)：
G01P 21/00
, G01D 3/028
, G01P 15/00
, G01P 15/125
G01P 21/00
, G01P 15/125
, G01P 15/00 Z
, G01D 3/04 Q
