特許
J-GLOBAL ID:200903064115656868
レーザ加工装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-332632
公開番号(公開出願番号):特開平10-137959
出願日: 1996年11月07日
公開日(公表日): 1998年05月26日
要約:
【要約】【目 的】 本発明は、精密加工と標準交差加工の混在するようなレーザ加工におて、時間的人的損失を減らし、高能率で加工を行なうレーザ加工装置に関するものである。【構 成】 レーザ発振器、加工用対物レンズならびに、レーザ光を加工部へ導く光学系によって構成されるレーザ加工装置において、外部信号により制御可能なステージ移動により、加工用光学系を精密加工向けの結像型光学系と、粗加工向けの集光型光学系に切り替えを行なって加工する。
請求項(抜粋):
加工物を固定した移動ステージと、レーザ発振器、加工用対物レンズならびに、レーザ光を加工部へ導く光学系によって構成されるレーザ加工装置において、外部信号により制御可能なステージ移動により、加工用光学系を精密加工向けの結像型光学系と、粗加工向けの集光型光学系に切り替えることにより、面倒光学部品の変更を行なう事無く、一台で汎用性の高い加工を行なうことを特徴とするレーザ除去加工装置。
IPC (3件):
B23K 26/00 330
, B23K 26/00 320
, B23K 26/06
FI (3件):
B23K 26/00 330
, B23K 26/00 320 A
, B23K 26/06 E
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